硅烷法制备多晶硅主要技术是将冶金级硅粉与四氯化硅和氢气转化为三氯氢硅,再将三氯氢硅通过精馏工序提纯及歧化反应,生成电子级硅烷气送至多晶硅反应器,通过化学气相沉积 (CVD)生长成多晶态硅棒。 硅烷法是利 2021年6月17日 制粉工艺对硅粉反应活性的影响。硅粉的反应活性是硅粉参与化学反应,形成产品的能力。活性好的表现有两方面:一是反应迅速,稳定,且易于控制;二是反应 硅粉的生产工艺_反应 - 搜狐本发明属于新材料晶体加工领域,具体涉及一种高纯碳化硅粉料的制备方法。 背景技术: 碳化硅单晶是最重要的第三代半导体材料之一,因其具有禁带宽度大、饱和电子迁移率高、击穿场强大、热导率高等优异性质,而被 一种高纯碳化硅粉料的制备方法与流程 - X技术网
2020年8月21日 SiC粉体的合成方法多种多样,总体来说,大致可以分为三种方法。 第一种方法是固相法,其中具有代表性的有碳热还原法、自蔓延高温合成法和机械粉碎法;第二种方法是液相法,其中具有代表性的方法主 2018年12月8日 一种碳化硅晶体生长用大粒径碳化硅(sic)粉料的合成方法,包括以下步骤: 采用高纯硅粉和高纯碳粉为原料,采用高纯硅粉和高纯碳粉为原料并混合均匀,将混合均匀后的粉末原料分为数份置于坩埚 一种碳化硅晶体生长用大粒径碳化硅粉料的合成方法 ...目前我国制备高纯硅多晶硅主要采用三氯氢硅氢还原法、硅烷热解法和四氯化硅氢还原法。 但所有的方法都是从工业硅开始,首先制取既易提纯又易分解(即还原)的含硅的中间 工业上可用二氧化硅和焦炭制取粗硅的原理? - 知乎