全球碳化硅晶片的主要生产商之一. 获得国家自然科学基金、中国科学院、科技部和国家其他部门的研究资金的大力支持。 拥有自主知识产权的碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长 碳化硅切片设备唯一实现国产化. 公司碳化硅切割、研磨、抛光设备已经实现小批量出货。 高测股份： 公司碳化硅金刚线切片机已签订销售订单9台（三安光电），基本覆盖行业新增 碳化硅产业链深度解析（全网最全独家） 碳化硅产业 ...SiC外延片制备设备情况. 碳化硅外延材料的主要设备，目前这个市场上主要有四家： 1、德国的Aixtron：特点是产能比较大； 2、意大利的LPE，属于单片机，生长速率非常大。 3、日本的TEL和Nuflare，其设备的价格非常 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎
据了解，这是国内首条实现商用量产的6吋碳化硅晶圆生产线，目前规划产能1000片/月，产品目标应用主要在太阳能逆变器、通讯电源、服务器、储能设备等领域。2022年12月15日 中电科48所陆续开发出碳化硅外延设备、高温高能离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉，并持续研发第二代、第三代机型，截至目前，其碳化硅设备已在生产 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽 ...2023年5月21日 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金刚线多线 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国2021年8月17日 最近，国内2条碳化硅器件生产线有了新进展： 士兰微 ：SiC功率器件中试线已经通线，将加快研发SiC MOSFET和车规模块； 燕东微电子：传闻与基本半导体合 SiC器件发力？士兰微、燕东微各增1条线 最近，国内2 ...
