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详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎
研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层，修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或金刚石粉）研 2021年9月23日 单纯的机械抛光会产生划痕，单纯的化学抛光产生非均匀腐蚀，综合为化学机械抛光则物美价廉。 CMP的工作原理：旋转的晶片/晶圆以一定的压力压在旋转的抛光 碳化硅的化学机械抛光-电子工程专辑立方碳化硅的性质。. 立方碳化硅又名β-SiC，属立方晶系（金刚石晶型），其晶体的等轴结构特点决定了β-SiC具有比α-SiC（黑碳化硅和绿碳化硅）好的自然球度和自锐性，因而在 绿碳化硅？ - 知乎
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什么是碳化硅，碳化硅主要成分和用途 - 知乎
2021年9月8日 在我国，绿碳化硅首要用做磨料。 黑碳化硅用于制造磨具，多用于切开和研磨抗张强度低的资料，如玻璃、陶瓷、石料和耐火物等，一起也用于铸铁零件和有色金 2021年5月10日 绿碳化硅是以石油焦和优质硅石为主要原料,添加食盐作为添加剂，通过电阻炉高温冶炼而成，经冶炼成的结晶体纯度高，硬度大，其硬度介于刚玉和金刚石之间， 绿碳化硅的生产工艺和用途 - 知乎2021年8月20日 那么绿碳化硅微粉生产工艺及用途有哪些呢？河南四成小编为大家简单介绍一下！ 绿碳化硅其硬度介于刚玉和金刚石之间，机械强度高于刚玉，呈绿色，晶体构 绿碳化硅微粉生产工艺及用途 - 知乎
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